CmIT hat im Auftrag der Firma BALZERS eine Prozesssteuerung für eine Hochvakuum-Bedampfungsanlage entwickelt.

Die Anlage transportiert Silizium-Waver in die zwei Kammern der Anlage und bedampft die Halbleiter unter Hochvakuum.

Die Prozessteuerung regelt den Bedampfungsprozess anhand von vordefinierten Rezepten. Das Hochvakuum wird durch einen speziellen Kontroller geregelt und überwacht. Zwei weitere Kontroller steuern den Transport der Teile sowie die Benützerschnittstelle.

Die Benutzerschnittstelle unterstützt die Verwaltung von Rezepten und stellt den Prozessverlauf grafisch dar. Gleichzeitig arbeitet dieser Kontroller als Leitrechner der Prozessteuerung.

Für den Datenaustausch sind die Kontroller untereinander durch asynchrone Schnittstellen verbunden Jeder Kontroller verfügt über einen eigenen LSI11-Rechner.

Alle Programme sind Echtzeit-Applikationen und wurden mit Micropower Pascal implementiert.

CmIT hat das gesamte Systemkonzept der Steuerung aufgrund grober Anforderungen des Kunden erstellt und die dazugehörige Software schlüsselfertig entwickelt. Der Projektaufwand betrug 5 Personenjahre.